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日本雅馬拓DTN450C/650C潔凈厭氧高溫氣氛爐

更新時(shí)間:2024-11-20

簡(jiǎn)要描述:

合測(cè)實(shí)業(yè)為日本雅馬拓DTN450C/650C潔凈厭氧高溫氣氛爐一級(jí)代理商/特約經(jīng)銷商。DTN450C/650C潔凈厭氧高溫氣氛爐最高工作溫度500℃、潔凈度100 級(jí)、氧濃度低于20ppm,主要應(yīng)用于固化半導(dǎo)體晶圓(光刻膠PI、PBO 固化)、玻璃基板烘烤、高精度退火處理等。

型號(hào):廠商性質(zhì):代理商瀏覽量:1579

日本雅馬拓DTN450C/650C潔凈厭氧高溫氣氛爐產(chǎn)品特點(diǎn):

潔凈度100級(jí)、氧濃度低于20ppm的氣氛爐,主要應(yīng)用于固化半導(dǎo)體晶圓等。

最高工作溫度500℃。

采用耐熱高性能高效過(guò)濾器,可在潔凈的環(huán)境下進(jìn)行高溫烘烤。

高氣密性的壓力箱構(gòu)造,氧濃度到達(dá)時(shí)間短,N2 消耗量極低。

磁密封保持高氣密性,采用水冷機(jī)構(gòu)保護(hù)密封部件免受熱量影響。

可實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫,升降溫速率可調(diào)節(jié)。

標(biāo)準(zhǔn)裝備有廢液回收裝置,對(duì)氣體進(jìn)行冷卻回收。

日本雅馬拓DTN450C/650C潔凈厭氧高溫氣氛爐技術(shù)參數(shù):

型號(hào)DTN450CDTN650C
外形尺寸(寬× 深× 高mm)1240×1010×1750 1450×1060×1960
內(nèi)尺寸(寬× 深× 高mm)450×450×450660×500×660
內(nèi)部容積91L216L
溫度范圍室溫+50 ~ 500℃
溫度調(diào)節(jié)精度±1.0℃(at500℃)
溫度分布精度±8.0℃(at500℃)
最高溫度到達(dá)時(shí)間約110 分
氧濃度20ppm 以下
氧濃度到達(dá)時(shí)間≤ 20 分(250L/min 氮?dú)猓?/td>≤ 25 分(250L/min 氮?dú)猓?/td>
潔凈度溫度恒定時(shí)100 級(jí)
加熱方式不銹鋼加熱管
冷卻機(jī)構(gòu)不銹鋼冷卻水換熱器
HEPA 過(guò)濾器集塵效率:0.3um 粒子99.97% 以上
排氣口40KF 法蘭
氮?dú)馊肟?/td>Rc1/2
冷卻水入口Rc3/4
熱水出口Rc3/4,2 個(gè)
電源(50/60Hz)額定電流  3 相AC380V 20A3 相AC380V 27A

安全性:

門檢測(cè)開(kāi)關(guān)

溫度過(guò)升防止器

氧濃度異常安全裝置

氮?dú)鈮毫z測(cè)

氮?dú)饬髁繖z測(cè)

冷卻水流量檢測(cè)

漏水傳感器

過(guò)電流漏電漏電保護(hù)開(kāi)關(guān)


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